| 发明名称 | 托盘装置及结晶膜生长设备 | ||
| 摘要 | 本发明属于结晶膜生长技术领域，具体提供一种用于承载被加工基片的托盘装置，其包括多个沿纵向层叠设置的托盘，并且相邻托盘之间具有一定间距。此外，本发明还提供一种结晶膜生长设备，其包括工艺腔室、工艺气体输送系统及排气系统，并且在所述工艺腔室内设置有本发明提供的上述托盘装置，用以在工艺过程中承载基片。本发明提供的托盘装置及具有该托盘装置的结晶膜生长设备，能够以较低的成本来增加每次工艺所能处理的基片数量，进而提高产能。 | ||
| 申请公布号 | CN102485953A | 申请公布日期 | 2012.06.06 |
| 申请号 | CN201110059870.2 | 申请日期 | 2011.03.11 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 古村雄二;张建勇;徐亚伟;张秀川;周卫国;董志清 |
| 分类号 | C23C16/458(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/458(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 张天舒;陈源 |
| 主权项 | 一种托盘装置，用于承载被加工基片，其特征在于，包括多个沿纵向层叠设置的托盘，并且相邻托盘之间具有一定间距。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M5楼南二层 | ||