一种中空结构微电极阵列

摘要

本实用新型公开一种微细电化学加工用中空结构微电极阵列，包括微电极阵列支撑底板以及位于该底板上的中空结构圆形单电极，所述中空结构圆形单电极由实心圆柱微电极内开孔形成，该中空结构圆形单电极的端面设有一个口径小于所开内孔直径的单电极端面约束孔。本实用新型若配合脉冲电源，再将电解液以径向流方式通过中空结构微电极阵列，则在工件上可以得到精度较高、表面质量较好的阵列孔。

主权项

一种中空结构微电极阵列，其特征在于包括微电极阵列支撑底板以及位于该底板上的多个中空结构圆形单电极，所述中空结构圆形单电极由实心圆柱微电极内开孔形成，该中空结构圆形单电极的端面设有一个口径小于所开内孔直径的单电极端面约束孔。