| 摘要 |
<p>Zarízení se svazkem nabitých cástic podle vynálezu obsahuje transmisní elektronový detektor (113; 206), jehož detekcní cást je rozdelena na množství regionu (201 až 205; 301 až 305). Zarízení vypocte tlouštku plátku vzorku tím, že detekuje transmisní elektronový paprsek (112), který pri ozarování vzorku elektronovým paprskem (109) vzorek generuje, jako signály z ruzných regionu odpovídacích ruzným úhlum rozptylu transmisního elektronového paprsku, a poté vypocte intenzity jednotlivých signálu. Výše popsané zarízení se svazkem nabitých cástic podle vynálezu je schopno provádet presnou kontrolu tlouštky plátku, pricemž potlacuje chyby vyplývající z vnejších podmínek. Rovnež je schopno tenkovrstvé vzorky zpracovávat na vzorky mající presnou tlouštku plátku, címž dovoluje zlepšit presnost pri pozorování struktur a analýze prvku.</p> |
