发明名称 |
晶片位置检测装置及其检测方法 |
摘要 |
一种晶片位置检测装置用以检测晶片是否正确地置于晶片盒的插槽中,其中插槽彼此平行,且每一插槽均用以承载一晶片。晶片位置检测装置有一检测台用以承载晶片盒。在检测台之一侧有光发射器,在检测台的另一侧则有屏幕或接收器。其中每一光发射器对齐于插槽之间的间隔,以使得光发射器的光线平行穿过插槽之间隔而照射于屏幕或接收器上。 |
申请公布号 |
TWI360854 |
申请公布日期 |
2012.03.21 |
申请号 |
TW097106667 |
申请日期 |
2008.02.26 |
申请人 |
昱晶能源科技股份有限公司 苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号 |
发明人 |
郭军宏;江俊禹 |
分类号 |
H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
代理机构 |
|
代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
|
地址 |
苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号 |