红外焦平面阵列器件及其制作方法

摘要

本发明提供一种红外焦平面阵列器件，包括：衬底；空腔，位于所述衬底内；红外敏感层，悬空于所述空腔的上方；反射层，设置于所述空腔的底部，与所述红外敏感层相对；悬臂梁，悬空于所述衬底上方，一端与衬底固定连接，另一端与红外敏感层固定连接。所述空腔周围的衬底为用于散热的热沉，所述悬臂梁与衬底连接的一端即连接在所述热沉上。相应的，本发明还提供所述红外焦平面阵列器件的制作方法。所述红外焦平面阵列器件，采用反射层、红外敏感层以及他们之间的空腔所组成的共振吸收结构来提高探测单元对红外线的吸收效率，这种共振吸收结构的制作完全与常规IC工艺兼容。

主权项

一种红外焦平面阵列器件，其特征在于，包括：衬底；空腔，位于所述衬底内；红外敏感层，悬空于所述空腔的上方；反射层，设置于所述空腔的底部，与所述红外敏感层相对；悬臂梁，悬空于所述衬底上方，一端与衬底固定连接，另一端与红外敏感层固定连接。