基板加工机的主轴升降机构

摘要

一种基板加工机的主轴升降机构，包含一个具有一块基板与一块固设于该基板的直线导引板的基座单元、一个设置于该基座单元并具有一个驱动马达与一支螺杆的驱动单元、一个具有一个与该螺杆螺接的支撑座与二个沿一个横方向间隔地设置于该支撑座的滚动件的螺杆支撑单元、一个设置于该基座单元的气浮鞍座单元、一个穿设于该气浮鞍座单元的主轴单元，及一个连接于该支撑座与该主轴单元之间的联轴器，该直线导引板具有二个沿该横方向间隔设置并沿一个高度方向相背设置的导引平面，所述滚动件分别位于所述导引平面外侧，并分别与所述导引平面滚动接触。

主权项

一种基板加工机的主轴升降机构，其特征在于：该基板加工机的主轴升降机构，包含：一个基座单元，具有一块基板，及一块固设于该基板的直线导引板，该直线导引板具有二个沿一个横方向相背间隔设置的导引平面，所述导引平面分别沿一个垂直于该横方向的高度方向延伸；一个驱动单元，设置于该基座单元，并具有一个驱动马达，及一支被该驱动马达驱动并沿该高度方向延伸的螺杆；一个螺杆支撑单元，具有一个与该螺杆螺接的支撑座，及二个沿该横方向间隔地设置于该支撑座的滚动件，所述滚动件分别位于所述导引平面外侧，并分别与所述导引平面滚动接触；一个气浮鞍座单元，设置于该基座单元并围绕出一个沿该高度方向延伸的供气空间，该气浮鞍座单元具有一个进气孔，及数个分别连通该进气孔与该供气空间的出气孔；一个主轴单元，沿该高度方向能移动地穿设于该气浮鞍座单元的供气空间；及一个联轴器，连接于该支撑座与该主轴单元之间。