| 摘要 |
본 발명의 실리콘 기재(基材)의 접합 방법은, Si-H 결합을 함유하는 제1 실리콘 기재에 대해, 에너지를 부여하여, 벽개(劈開)할 면에 따라 존재하는 Si-H 결합을 선택적으로 절단하고, 생성한 수소 가스의 팽창압에 의해, 제1 실리콘 기재를 벽개하여, 이 벽개면에 실리콘의 미결합수를 노출시키는 제1 공정과, 벽개된 제1 실리콘 기재의 벽개면과, 표면에 실리콘의 미결합수가 노출한 제2 실리콘 기재의 표면을 접촉시켜, 이들을 접합하는 제2 공정을 갖는다. |
