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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Beheben von Kurzschlussbereichen in Halbleiterelementen
摘要
申请公布号 DE69311209(D1) 申请公布日期 1997.07.10
申请号 DE1993611209 申请日期 1993.06.30
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MIDORIKAWA, TAKAFUMI, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;MURAKAMI, TSUTOMU, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;MORI, TAKAHIRO, OHTA-KU, TOKYO 146, JP;ICHINOSE, HIROFUMI, OHTA-KU, TOKYO 146, JP
分类号 H01L31/04;H01L31/20;(IPC1-7):H01L31/20;H01L27/142;H01L31/18 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
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