层叠接触垫

摘要

本发明涉及层叠接触垫，接触垫包括由具有第一屈服强度的材料制成的第一层和层叠到第一层上的由具有第二屈服强度的材料制成的第二层。由于霍尔-佩奇(Hall-Petch)现象，第一层和第二层的层叠复合层的第三屈服强度超过第一屈服强度和第二屈服强度。保护涂层覆盖接触垫的第一层和第二层的一个边缘，以防止磨损。一种制造接触垫或其它微电子部件结构的方法包括，将由具有第一屈服强度的材料制成的第一层沉积到衬底上。由具有第二屈服强度的材料制成的第二层被沉积到第一层上。第一层和第二层的一个边缘被保护涂层材料覆盖，以防止第一层和第二层的磨损。

主权项

一种换能器头包括：读取器；以及接触垫，其中所述接触垫延伸超出所述读取器，并且包括由具有第一屈服强度的材料制成的第一层；由具有第二屈服强度的材料制成的第二层，所述第二层层叠到所述第一层，其中所述第一层和第二层的层叠复合层所具有的第三屈服强度超过所述第一屈服强度和第二屈服强度；以及保护涂层，所述保护涂层与所述第一层和第二层的一个边缘接触。