光调制器像素单元及其制作方法

摘要

本发明提供了一种光调制器像素单元，包括底部电极、可动电极、顶部电极，在控制电路控制下，所述可动电极的位置会发生偏移，分别位于第一位置、第二位置和第三位置，当可动电极位于第一位置时，入射至光调制器像素单元的第一光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉；可动电极位于第二位置和第三位置分别对第二光线和第三光线进行调制原理与可动电极位于第一位置对第一光线的调制原理相同。所述第一光线、第二光线、第三光线分别为三种特定波长范围的单色光。本发明的光调制器像素单元能够分时控制三种特定波长的单色光，实现色彩控制和灰度控制，适用于投影显示以及平板系统。

主权项

一种光调制器像素单元，其特征在于，包括：衬底；底部电极，位于所述衬底上，所述底部电极与控制电路的第一控制端电连接；顶部电极，位于所述衬底上，所述顶部电极与控制电路的第三控制端电连接，所述顶部电极为半透光的金属薄膜；可动电极，位于所述底部电极与顶部电极之间，所述可动电极与控制电路的第二控制端电连接，所述可动电极面向顶部电极的表面为光线反射面，所述可动电极能够沿垂直于光线反射面的方向移动，所述可动电极与顶部电极之间以及所述可动电极与底部电极之间具有电绝缘材料；所述顶部电极、可动电极、底部电极位置相对应，所述可动电极面积小于顶部电极的面积，在控制电路控制下，所述可动电极的位置会发生偏移，分别位于第一位置、第二位置和第三位置，当可动电极位于第一位置时，入射至光调制器像素单元的第一光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉；当可动电极位于第二位置时，入射至光调制器像素单元的第二光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线发生相消干涉；当可动电极位于第三位置时，入射至光调制器像素单元的第三光线的经由顶部电极反射的光线与透过顶部电极的由可动电极反射的并再透过顶部电极的光线的发生相消干涉；所述第一光线、第二光线、第三光线为三基色光线。