具有半导体压力测量换能器的压力传感器

摘要

一种压力传感器，包括：半导体压力测量换能器(41)，其具有测量薄膜和用于将测量薄膜的变形转换成信号的电路；压力传输装置，其具有延伸通过第一和第二开口之间的固体(50)的液压路径；其中，第一开口被可与压力接触的隔离隔膜密封，以便将要测量的压力引入液压路径中；其中，液压路径在第二开口处向换能器室中开放，压力测量换能器被布置在换能器室中且换能器室被压力测量换能器的测量薄膜密封；其中，所述液压路径包含传输液体；填充元件(11)，其被布置在换能器室中，以便填充换能器室的金属壁与半导体压力测量换能器之间的空的空间；以及绝缘体板，其被布置在换能器室中并且位于测量薄膜和与测量薄膜相对的换能器室的壁之间；其中，绝缘体板(21)附着于填充元件，或者实施为与填充元件成为一体。

主权项

一种压力传感器，包括：半导体压力测量换能器，所述半导体压力测量换能器具有测量薄膜和用于将测量薄膜的压力相关变形转换成电信号的电路；压力传输装置，所述压力传输装置具有延伸通过第一开口与第二开口之间的固体的液压路径；其中，第一开口被能够与要测量的压力接触的隔离隔膜密封，以便将要测量的压力引入液压路径中；其中，所述液压路径在第二开口处向换能器室中开放，压力测量换能器被布置在所述换能器室中且所述换能器室由压力测量换能器的测量薄膜密封；其中，所述液压路径包含传输液体；填充元件，所述填充元件被布置在换能器室中，以便填充换能器室的金属壁与半导体压力测量换能器之间的空的空间；以及绝缘体板，所述绝缘体板被布置在换能器室中并且位于测量薄膜和与测量薄膜相对的换能器室的壁之间；其特征在于所述绝缘体板附着于填充元件，或者被实施为与填充元件成为一体。