具有分离电极的静电卡盘

摘要

一种静电夹持装置及一种减少对耦接至静电夹持装置的工件造成污染的方法。根据一实施例，耦接工件的静电夹持装置包括位于本体的表面上的用以接触工件的浮雕部，以及位于所述本体内的至少两个电极，其中至少两个电极被所述浮雕部下方的分离部分开。

主权项

一种静电夹持装置，用于耦接工件，所述静电夹持装置包括：浮雕部，位于一本体的一表面上，用以接触所述工件；以及至少两个电极，位于所述本体内；其中所述至少两个电极被所述浮雕部下方的分离部分开，所述分离部包括第一部分及第二部分，所述第一部分实质上位于所述浮雕部正下方，所述第二部分自所述第一部分沿所述至少两个电极延伸，以及其中在所述至少两个电极被分开的轴上，所述第二部分窄于所述第一部分，其中与所述分离部的所述第一部分相邻的所述至少两个电极实质上相互平行。