发明名称 |
多晶硅CVD炉混合气进出量调节装置 |
摘要 |
本实用新型多晶硅CVD炉混合气进出量调节装置包括多晶硅CVD炉进气量调节装置与多晶硅CVD炉出气量调节装置,所述的多晶硅CVD炉出气量调节装置包括多晶硅CVD炉中心出气口出气调节装置和非中心出气口出气量调节装置。当多晶硅CVD炉内出现类似雾化等不良现象时,可通过调节多晶硅CVD炉进气量调节阀来降低类似雾化等不良现象;多晶硅生产前期与后期,通过调节中心出气口与非中心出气口,来控制混合气的出气量,保证混合气在多晶硅CVD炉内均匀、充分的化学反应。本实用新型,实施和操作简单,并能有效地提高多晶硅CVD炉的生产效率、提高多晶硅品质和降低多晶硅生产能耗。 |
申请公布号 |
CN202090056U |
申请公布日期 |
2011.12.28 |
申请号 |
CN201120176127.0 |
申请日期 |
2011.05.30 |
申请人 |
上海森松化工成套装备有限公司 |
发明人 |
李严州;张华芹;程佳彪;茅陆荣 |
分类号 |
C23C16/455(2006.01)I;C23C16/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01)I |
代理机构 |
上海百一领御专利代理事务所(普通合伙) 31243 |
代理人 |
马育麟 |
主权项 |
多晶硅CVD炉混合气进出量调节装置,其特征在于:包括进气量调节装置、或者出气量调节装置。 |
地址 |
201315 上海市浦东新区康桥工业区康桥东路1号-17 |