| 摘要 |
Ein EUV-Spiegelmodul wird offenbart, das ein Substrat mit einer gekrümmten oberen Fläche und einen gekrümmten elektro- bzw. galvanogeformten Spiegel umfasst. Ein selbstausgleichendes Bondingmaterial wird zwischen dem Substrat und dem elektro- bzw. galvanogeformten Spiegel angeordnet. Das Bondingmaterial ist bei einer Schmelztemperatur fließfähig und ist selbstausgleichend, um den Bereich zwischen dem Substrat und dem elektro- bzw. galvanogeformten Spiegel konform auszufüllen, und bindet das Substrat und den elektro- bzw. galvanogeformten Spiegel. Das Substrat kann mindestens einen Kühlkanal zum Kühlen des Spiegelmoduls aufweisen. |
