光学镀膜测量系统反射式光路装置

摘要

本发明光学镀膜测量系统反射式光路装置，包括置于真空镀膜室内光束交叉点上的比较片，位于真空镀膜室外的装在真空镀膜室顶部的发射端光路耦合器、第一接收端光路耦合器，位于真空镀膜室外的装于真空镀膜室底部的第二接收端光路耦合器，光束从光源由入射光纤引入发射端光路耦合器被准直后进入真空镀膜室射到比较片上，一部分光透射过比较片后进入第二接收端光路耦合器而另一部分光被比较片反射后进入第一接收端光路耦合器，第一、第二接收端光路耦合器再分别将光束偶合进入光纤、送入检测系统。本发明在宽光谱测量条件下，能提高镀膜膜厚的测量精确度。

主权项

光学镀膜测量系统反射式光路装置，其特征在于包括置于真空镀膜室内光束交叉点上的比较片，位于真空镀膜室外的装在真空镀膜室顶部的发射端光路耦合器、第一接收端光路耦合器，位于真空镀膜室外的装于真空镀膜室底部的第二接收端光路耦合器，发射端光路耦合器中有位于发射端光路耦合器壳体内装在底板上的装有发射端光纤连接头的发射端光纤连接架、发射端反射准直架，装于发射端反射准直架上的发射端二维调节架，发射端反射镜片装在发射端二维调节架上，入射传输光纤一端进入发射端光路耦合器壳体内连接在发射端光纤连接头上，第一接收端光路耦合器、第二接收端光路耦合器中分别有位于接收端光路耦合器壳体内的装在底板上的带接收端光纤连接头的接收端光纤连接架、带接收端第一反射镜片的第一反射汇聚架、带接收端第二反射镜片的第二反射汇聚架，接收端第一反射镜片和第二反射镜片镜面相对，出射传输光纤一端进入接收端光路耦合器壳体内装在接收端光纤连接头上，光束从光源由入射传输光纤引入发射端光路耦合器被准直后进入真空镀膜室射到比较片上，一部分光透射过比较片后进入第二接收端光路耦合器而另一部分光被比较片反射后进入第一接收端光路耦合器，第一、第二接收端光路耦合器再分别将光束偶合进入出射传输光纤，再根据镀膜工艺需求选其一送入检测系统。