发明名称 |
陀螺仪及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种陀螺仪及其制造方法,该陀螺仪包括:衬底,衬底内具有底层驱动电极和位于底层驱动电极外围的底层测量电极;位于衬底上的介质层,在介质层中具有封闭的空腔;所述空腔内包括:位于衬底上的中心轴;置于衬底上且能围绕中心轴旋转的支撑环;位于支撑环外围且与支撑环共中心轴的质量环;连接支撑环和质量环且支撑所述质量环悬置于所述空腔内的悬臂;位于支撑环、质量环和相邻两悬壁之间区域内的弹性部件;覆盖支撑环、质量环、悬臂和弹性部件的顶层驱动电极;连接弹性部件上顶层驱动电极与底层驱动电极的导电插塞;所述质量环包括绝缘层及位于绝缘层下的重量层。该陀螺仪的稳定性和性能得到较大提高。 |
申请公布号 |
CN102278981A |
申请公布日期 |
2011.12.14 |
申请号 |
CN201010200715.3 |
申请日期 |
2010.06.11 |
申请人 |
江苏丽恒电子有限公司 |
发明人 |
毛剑宏;韩凤芹;唐德明 |
分类号 |
G01C19/56(2006.01)I |
主分类号 |
G01C19/56(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种陀螺仪,其特征在于,包括:衬底,衬底内具有底层驱动电极和位于底层驱动电极外围的底层测量电极;位于衬底上的介质层,在介质层中具有封闭的空腔;所述空腔内包括:位于衬底上的中心轴;置于衬底上且能围绕中心轴旋转的支撑环;位于支撑环外围且与支撑环共中心轴的质量环;连接支撑环和质量环且支撑所述质量环悬置于所述空腔内的悬臂;位于支撑环、质量环和相邻两悬壁之间区域内的弹性部件;覆盖支撑环、质量环、悬臂和弹性部件的顶层驱动电极;连接弹性部件上顶层驱动电极与底层驱动电极的导电插塞;所述质量环包括绝缘层及位于绝缘层下的重量层。 |
地址 |
211009 江苏省镇江市高新技术产业开发园区经十二路668号211室 |