一种石墨舟

摘要

本实用新型涉及一种石墨舟，包括石墨舟片、上电极以及与所述上电极对应设置的下电极，下电极两端设有支撑脚，支撑脚上部紧靠下电极的槽垫块，石墨舟片至少为15片；两个支撑脚之间的距离为与真空镀膜设备腔体匹配的预定距离；石墨舟片之间的间距为10-13mm。本实用新型通过对现有的石墨舟进行改装，具体对陶瓷套的高度以及石墨隔块等配件进行改进设计，增加石墨舟的舟片数量但不增加石墨舟的总体宽度，使其既能够增加载片数量又可以符合PECVD真空镀膜设备的使用要求，进而提高硅片镀减反射膜生产效率。

主权项

一种石墨舟，包括石墨舟片、上电极以及与所述上电极对应设置的下电极，所述下电极两端设有支撑脚，支撑脚上部紧靠下电极的槽垫块，其特征在于，所述石墨舟片至少为15片；两个所述支撑脚之间的距离为与真空镀膜设备腔体匹配的预定距离；所述石墨舟片之间的间距为10‑13mm。