| 摘要 |
<p>본 발명의 과제는, 클러스터 구조를 갖고, 라인 길이를 짧게 할 수 있는, 혹은 공간 효율이 좋은 유기 EL 디바이스 제조 장치 또는 유기 EL 디바이스 제조 방법 혹은 성막 장치 또는 성막 방법을 제공하는 것이다. 증착 재료를 기판에 증착하는 처리부를 구비하는 진공 처리 챔버와, 상기 기판을 반입 또는 반출하는 전달실과, 상기 기판을 상기 전달실과 상기 복수의 처리부의 사이를 반송하는 반송 수단을 구비하는 진공 챔버인 클러스터를 복수 직렬로 설치하고, 상기 처리부를 하나의 상기 진공 처리 챔버 혹은 복수의 상기 진공 처리 챔버에 복수 설치하고, 상기 복수의 처리부 중 적어도 2개 이상의 처리부를 상기 반송 수단의 한쪽에 인접하여 배치하고, 기판을 반입 로드실로부터 반입하고, 상기 각 클러스터를 통해 반출 로드실로 반송하는 도중에 상기 반송 기판의 반송 각도를 보정한다.</p> |
