| 发明名称 |
VAPOR EMISSION DEVICE, ORGANIC THIN-FILM VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND METHOD OF ORGANIC THIN-FILM VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP2187709(A4) |
申请公布日期 |
2011.11.09 |
| 申请号 |
EP20080830347 |
申请日期 |
2008.09.04 |
| 申请人 |
ULVAC, INC. |
发明人 |
NEGISHI, TOSHIO;KOSHIDA, TATSUHIKO |
| 分类号 |
H05B33/10;C23C14/12;C23C14/22;C23C14/24;H01L51/50 |
主分类号 |
H05B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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