去除多孔氮化铝或多孔氮化镓微粒中氮化镁的方法

摘要

本发明公开了一种去除多孔氮化铝或多孔氮化镓微粒中氮化镁的方法，具体步骤为：把高温氮化结束的Al-Mg或Ga-Mg合金粉末的产物装入坩埚，再将坩埚装入刚玉或石英管内，然后放入管式加热炉中，对石英或刚玉管抽真空，打开管式加热炉电源，使炉内温度升至900～1100℃保温3～6小时，在此阶段，AlN微粒或GaN微粒中的氮化镁发生分解产生镁蒸气和氮气，镁蒸气从AlN或GaN微粒中蒸发出来，管的低温端凝聚，从而去除氮化镁。利用本发明的方法，能有效去除AlN与Mg3N2或GaN与Mg3N2合金混合物中的Mg3N2，能避免在去除AlN或GaN微粒中的Mg3N2的过程中因水的引入而造成AlN或GaN的水解。

主权项

一种去除多孔氮化铝或多孔氮化镓微粒中氮化镁的方法，其特征在于，包括以下操作步骤：步骤1，抽真空：把高温氮化结束的Al‑Mg合金粉末的产物AlN与Mg3N2的混合物，或高温氮化结束的Ga‑Mg合金粉末的产物GaN与Mg3N2的混合物装入坩埚，然后把坩埚装入一端封闭另一端开口的刚玉或石英管内；将刚玉或石英管装入管式加热炉中，再对刚玉或石英管抽真空，使管内的压强等于或低于0.3atm；步骤2，加热：在保持石英或刚玉管内压强值不变的情况下，打开管式加热炉的电源，使管式炉内温度升温至900～1100℃，然后在此温度保温3～6小时；步骤3，粉末的冷却：保温结束后，关闭管式加热炉电源，在继续保持石英或刚玉管内压强值不变的情况下，让坩埚内的粉末随管式加热炉一起自然冷却到室温；待管式加热炉同坩埚内的粉末冷却至室温后，取出坩埚中的粉末，即得到去除了氮化镁的多孔氮化铝或多孔氮化镓微粒。