发明名称 |
带金属图案的基板的制造方法及带金属层叠体的基板 |
摘要 |
本发明提供一种带金属图案的基板的制造方法,使用激光在基板上形成金属层的图案,其特征在于,包含如下工序:准备表面上形成有所述金属层的基板的工序;在所述金属层上形成由不同于所述金属层的金属材料构成且对所述激光的光吸收率不同于所述金属层的辅助层,从而在所述基板上形成金属层叠体的工序;和通过对该层叠体照射激光并除去该层叠体的激光照射部位将所述金属层图案化,从而形成金属图案的工序。 |
申请公布号 |
CN102214539A |
申请公布日期 |
2011.10.12 |
申请号 |
CN201110090326.4 |
申请日期 |
2011.04.08 |
申请人 |
旭硝子株式会社 |
发明人 |
牛光耀 |
分类号 |
H01J9/24(2006.01)I;B23K26/36(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/24(2006.01)I |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 |
代理人 |
王海川;穆德骏 |
主权项 |
一种带金属图案的基板的制造方法,使用激光在基板上形成金属层的图案,其特征在于,包含如下工序:准备表面上形成有所述金属层的基板的工序;在所述金属层上形成由不同于所述金属层的金属材料构成且对所述激光的光吸收率不同于所述金属层的辅助层,从而在所述基板上形成金属层叠体的工序;和通过对该层叠体照射激光并除去该层叠体的激光照射部位将所述金属层图案化,从而形成金属图案的工序。 |
地址 |
日本东京 |