可控型靶材冷却装置及方法

主权项

一种溅镀靶材，其至少包含：一背板，包括至少四个横向延伸且平行之圆柱状冷却孔，其从该背板的一第一侧端至一第二侧端形成其中，且该等冷却孔具有为该背板厚度之至少25%至小于75%的直径，其中该第二侧端是该第一侧端的一相对端，而该等复数圆柱状冷却孔的该第一和第二侧端系藉由放置在该等复数圆柱状冷却孔的个别圆柱状密封元件所密封；以及一或多个溅镀靶材贴片(tiles)，结合至该背板之二主面的其中一主面。