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<p>노광 조건을 모방한 노광 조건을 재현하는 노광 수단을 이용하여 소정 패턴이 형성된 테스트 마스크에 테스트 노광을 행하여, 이 테스트 마스크의 투과광 패턴을 촬상 수단에 의해 취득하고 취득된 투과광 패턴에 기초하여 투과광 패턴 데이터를 얻는 공정과, 투과광 패턴 데이터에 기초하여 노광 조건 하에서의 실효 투과율을 얻는 공정을 갖고, 그 실효 투과율에 기초하여, 그 영역의 형상, 그 영역에 형성하는 막의 소재, 또는, 막 두께를 결정한다.</p> |
