发明名称 |
全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法 |
摘要 |
本发明涉及全固态薄膜锂离子电池相关靶材及其制造方法。该方法主要包括选料、烧结前处理、热压烧结、靶材后处理等步骤组成,可以制造的靶材有:LiCoO2、LiFePO4、Li3PO4等。该方法使用石墨模具,用钼箔做模具与靶材的隔离材料,上下表面均用钼箔作为保护。预压1~5MPa,抽真空至10-3Pa,以10~15℃/min的速度加热至100~400℃,保温0.5h~1h,充入氩气。然后以10~15℃/min的速度加热至400℃~1000℃,逐步升温,加压,最终的烧结压力为20~60MPa,保温1~5h。保压随炉冷,取出将表层磨掉。该方法能够获得高纯,高致密的全固态薄膜锂离子电池用靶材,工艺过程设计简单易行,成本较低。 |
申请公布号 |
CN102206802A |
申请公布日期 |
2011.10.05 |
申请号 |
CN201010133629.5 |
申请日期 |
2010.03.29 |
申请人 |
北京品一材料科技有限责任公司 |
发明人 |
钟小亮;王广欣 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
本发明提供了生产高品质LiCoO2、LiFePO4、Li3PO4靶材的一种热压方法,其步骤主要包括:粉末前处理、脱气过程、阶段性加压烧结、靶材后处理。该方法使用石墨模具,用钼箔做模具与靶材的隔离材料,上下表面均用钼箔作为保护。预压1~5MPa,抽真空至10‑3Pa,以10~15℃/min的速度加热至100~400℃,保温0.5h~1h,充入氩气。然后以10~15℃/min的速度加热至400℃~1000℃,逐步升温,加压,最终的烧结压力为20~60MPa,保温1~5h。保压随炉冷,取出将表层磨掉。 |
地址 |
100085 北京市海淀区上地10街辉煌国际5号楼1114室 |