| 发明名称 | 一种生长绒面结构ZnO-TCO薄膜的方法及应用 | ||
| 摘要 | 一种生长绒面结构ZnO-TCO薄膜的方法，以玻璃衬底为基片，以纯度99.995%的Zn-Al合金靶为靶材原料，溅射气体为Ar气，溅射过程中引入氧气且在溅射镀膜周期中氧气流量呈梯度变化，利用磁控溅射镀膜技术制备绒面结构ZnO-TCO薄膜。本发明的优点：相比于通常溅射技术获得的绒面结构ZnO-TCO薄膜，利用梯度氧气流量法获得的薄膜具有较好的透过率，并且维持较好的电学特性，此外薄膜的绒面结构取得明显改善；该ZnO-TCO薄膜应用于微晶硅薄膜电池或非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池，可提高光散射作用，增加入射光程，有效降低有源层厚度，提高Si基薄膜太阳电池的效率和稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN102199758A | 申请公布日期 | 2011.09.28 |
| 申请号 | CN201110122983.2 | 申请日期 | 2011.05.13 |
| 申请人 | 南开大学 | 发明人 | 陈新亮;王婓;耿新华;张德坤;魏长春;张晓丹;赵颖 |
| 分类号 | C23C14/54(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/54(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人 | 侯力 |
| 主权项 | 一种生长绒面结构ZnO‑TCO薄膜的方法，其特征在于：以玻璃衬底为基片，以纯度99.995%的Zn‑Al合金靶为靶材原料，溅射气体为Ar气，溅射过程中引入氧气且在溅射镀膜周期中氧气流量呈梯度变化，利用磁控溅射镀膜技术制备绒面结构ZnO‑TCO薄膜。 | ||
| 地址 | 300071 天津市南开区卫津路94号 | ||