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发明名称 用于半导体沉积器械之基底支撑器
摘要
申请公布号 TWD142851 申请公布日期 2011.09.21
申请号 TW098300470 申请日期 2009.02.10
申请人 ＡＳＭ吉尼泰克韩国股份有限公司 发明人 李政镐;郑相振;郑东洛
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址 南韩
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