| 发明名称 | 半导体处理设备的远程访问网关 | ||
| 摘要 | 本发明揭示一种为半导体处理设备提供接口的装置。在一些实施例中，一种用于为具有适配卡的半导体处理设备提供接口的装置包括：显示逻辑子系统，其用以经由数据及控制总线以对一或多个装置(诸如视频及信息显示器、光笔、键盘、计算机鼠标及警告灯网络及警报器)提供接口；桥接器，其用以提供对该数据及控制总线的存取；及本地(local)计算机子系统，其连接至该桥接器及该显示逻辑子系统，其中该本地计算机子系统是提供对一或多个远程装置的存取。 | ||
| 申请公布号 | CN102197454A | 申请公布日期 | 2011.09.21 |
| 申请号 | CN200980142493.X | 申请日期 | 2009.10.22 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 罗纳德·维恩·肖尔 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;G06F3/01(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 一种用于为半导体处理设备提供接口的装置，包含：显示逻辑子系统，其用以经由数据及控制总线对光笔及一或多个视频及信息显示器提供接口；第一桥接器，其连接至所述显示逻辑子系统以提供对所述数据及控制总线的存取；本地计算机子系统，其连接至所述第一桥接器及所述显示逻辑子系统，其中，所述本地计算机子系统提供对一或多个远程装置的存取；以及第二桥接器，其连接至所述本地计算机子系统以提供对所述数据及控制总线的存取。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||