| 发明名称 | 中间掩模版保持器和中间掩模版的组件 | ||
| 摘要 | 中间掩模版和中间掩模版保持器的组件，其中中间掩模版保持器(1)的状态在形状锁合的中间掩模版阻止状态和中间掩模版释放状态之间是可调整的，其中当中间掩模版保持器(1)处于阻止状态中时，中间掩模版保持器(1)用于至少以形状锁合方式沿至少一个方向(X，Y，Z)保持中间掩模版(MA)，当中间掩模版保持器(1)处于释放状态时，该中间掩模版保持器(1)用于释放中间掩模版(MA)。本发明还涉及一种系统，包括中间掩模版(MA)和中间掩模版保持器(201)的组件，以及至少一个检测器(250)，其中中间掩模版(MA)包括一个或多个标记(MRK)，其中中间掩模版保持器(201)和检测器(250)用于相对于彼此在运动学上对准，其中检测器(250)用于检测所述中间掩模版标记(MRK)，用以使中间掩模版(MA)相对于中间掩模版保持器(201)定位。 | ||
| 申请公布号 | CN1673859B | 申请公布日期 | 2011.09.21 |
| 申请号 | CN200410087986.7 | 申请日期 | 2004.10.26 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | G·-J·希伦斯;B·L·W·M·范德文 |
| 分类号 | G03F1/16(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F1/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 王波波 |
| 主权项 | 一种中间掩模版和中间掩模版保持器的组件，其中中间掩模版保持器配有以形状锁合方式保持中间掩模版的保持元件，中间掩模版保持器的状态设置成在形状锁合的中间掩模版阻止状态和中间掩模版释放状态之间是可调整的，其中当中间掩模版保持器处于阻止状态时，该中间掩模版保持器设置成至少以形状锁合方式沿至少一个方向保持中间掩模版，以便利用沿所述至少一个方向基本上没有力锁合来保持中间掩模版，其中当中间掩模版保持器处于释放状态时，该中间掩模版保持器设置成释放中间掩模版。 | ||
| 地址 | 荷兰维尔德霍芬 | ||