非晶质硬质碳被膜

摘要

本发明提供一种几乎不含有氢、实际上只包含碳的、与基质材料密合性优良的，高硬度且耐磨损性也优良的非晶质硬质碳被膜。所述非晶质硬质碳被膜由以下构成，即，在基质材料表面上形成的实际上只包含碳的第1非晶质硬碳层，和在第1非晶质硬质碳层表面上形成的实际上只包含碳的第2非晶质硬质碳层；从断面观看时，第1非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像比第2非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像明亮。

主权项

一种非晶质硬质碳被膜，其特征在于，由在基质材料表面上形成的实际上只包含碳的第1非晶质硬质碳层、和在该第1非晶质硬质碳层的表面上形成的实际上只包含碳的第2非晶质硬质碳层构成；从断面观看时，所述第1非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像比所述第2非晶质硬质碳层的透射型电子显微镜像明亮；所述第1非晶质硬质碳层的厚度为5nm以上70nm以下；所述第2非晶质硬质碳层的厚度为0.5μm以上5.0μm以下。