薄板搬运方法和薄板加工装置

摘要

本发明涉及一种薄板搬运方法和薄板加工装置，其具备以下步骤：将被加工物在预置台上进行定位；进行了定位后，利用预置台上具备的形成多个列的孔部中的、在不吸引被加工物的相对的两个边附近的状态下形成至少一列的孔部吸引被加工物；在吸引的状态下用搬运装置的板进行加压；在加压之后，从形成板的多个列的孔部排气；由板进行吸引；由板吸引之后，将被加工物向加工载物台搬运；在搬运之后，在加工载物台上通过被加工物的相对的两边保持被加工物。通过这样的方法，能提供确保加工品质的薄板加工。

主权项

一种薄板搬运方法，其中，具备以下步骤：将由软质部件形成的薄板形状的被加工物在预置台上进行定位；进行了所述定位后，利用所述预置台上具备的形成多个列的孔部中的、在不吸引所述被加工物的相对的两个边附近的状态下形成至少一列的所述孔部吸引所述预置台上的所述被加工物；在所述吸引的状态下用设于搬运装置的板进行加压；在所述加压之后，从所述板所具备的形成多个列的孔部排气；用所述板进行吸引；用所述板吸引之后，将所述被加工物向加工载物台搬运；在所述搬运之后，在所述加工载物台上由所述被加工物的相对的两边保持所述被加工物。