发明名称 LARGE-DIAMETER SIC WAFER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 EP1547131(B1) 申请公布日期 2011.08.10
申请号 EP20030736307 申请日期 2003.06.30
申请人 MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD. 发明人 NISHINO, SHIGEHIRO;MURATA,K.
分类号 C30B23/00;C23C16/32;H01L21/02;C03B29/06;C30B29/36;H01L21/04;H01L21/205;H01L25/00;H01L29/06;H01L29/24 主分类号 C30B23/00
代理机构 代理人
主权项
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