发明名称 PROCESS AND MULTIPURPOSE INSTALLATION FOR PRODUCING HIGH PURITY MATERIALS, IMPLANTATION OF IONS AND INTEGRATED NANOSTRUCTURES
摘要
申请公布号 RO125719(B1) 申请公布日期 2011.07.29
申请号 RO20080000866 申请日期 2008.11.07
申请人 GOARZ&ABREVE, ALEXE CORNELIU;GOARZ&ABREVE, ALEXANDRA 发明人 GOARZ&ABREVE, ALEXE CORNELIU;GOARZ&ABREVE, ALEXANDRA
分类号 C23C14/40;C21D1/773;C22B9/04;C23C14/48;H01J37/00 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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