一种举升装置

摘要

本发明提供了一种用于在半导体加工/处理过程中携带被加工器件运动的举升装置，其包括：向压力缸提供动力的动力源；控制动力源和压力缸之间的动力传递的控制模块；向运动模块输出运动机械能的压力缸；以及运动模块，其根据来自压力缸的机械能而动作，以便携带晶片等被加工器件运动。控制模块包括电动比例调节元件，其根据输入的电信号来控制动力源和压力缸之间的动力传递速度，从而调节运动模块携带被加工器件运动的运动速度。本发明提供的举升装置能够在携带晶片等半导体器件运动过程中平稳运行，并能够使该半导体器件在最高位及最低位时保持中心轴位置不变，从而避免该半导体器件遭受机械损伤，以及因其失位而导致的加工达不到预期结果等问题。

主权项

一种举升装置，用于在半导体加工/处理过程中携带半导体器件运动，该举升装置包括顺次相连的压力源、控制模块、压力缸和用于举升半导体器件的运动模块，其中所述压力源用于在所述控制模块的控制下向压力缸提供压力；所述控制模块用于控制压力源和压力缸之间的压力传递；所述压力缸依据来自所述压力源的压力而向运动模块输出相应的运动机械能；所述运动模块借助来自所述压力缸的运动机械能而动作，以便携带半导体器件上升或下降，其特征在于，所述控制模块包括电动比例调节元件，所述电动比例调节元件根据输入的电信号来控制压力源和压力缸之间的压力传递速度，从而间接调节所述运动模块携带半导体器件运动的运动速度。