发明名称 附加热装置之流体控制装置
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.07.11
申请号 TW093113388 申请日期 2004.05.13
申请人 富士金股份有限公司 发明人 四方出;田中林明;山路道雄
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼
主权项 一种附有加热装置之流体控制装置,其系于流体控制装置上附设有加热装置,该流体控制装置系于基部构件上并列状地配置由配设于上段的复数个流体控制机器与配设于下段之复数个块状接头构件所形成的管线,其特征为:加热装置具有至少配置在一条管线之两侧用以加热流体控制机器及接头构件的面状加热器,使保温板分别抵接在该等面状加热器之外侧,其中在各保温板的上部设置有朝向另一方之保温板方向延伸的至少一个突出部,该等突出部的前端彼此相面对,而在一方的保温板的突出部上,设置有插通结合用螺栓之螺栓插通孔,在另一方的保温板的突出部上,则设置有与结合用螺栓螺合之阴螺纹部,保温板彼此利用螺栓结合,藉以防止面状加热器脱落。如申请专利范围第1项之附有加热装置之流体控制装置,其中保温板系工程塑胶制成。如申请专利范围第1项或第2项之附有加热装置之流体控制装置,其中保温板之热传导率为0.30(W/m.K)以下。
地址 日本