发明名称 PASSIVATION OF ETCHED SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 KR20110068953(A) 申请公布日期 2011.06.22
申请号 KR20107029434 申请日期 2009.07.02
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 FAURE BRUCE;GUENARD PASCAL
分类号 H01L33/44;H01L21/20;H01L31/06 主分类号 H01L33/44
代理机构 代理人
主权项
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