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一种硷性显影液组成物，其组成物包括有纯水、至少一种硷性化合物、含量小于500ppm且实质达成显影液的消泡性功能的消泡剂、至少一种总含量0.05~10%的非离子界面活性剂；其中该硷性化合物选自于下列所构成的群组中：硷金属氢氧化物、硷土金属氢氧化物以及结构式为：@sIMGCHAR!d10011.TIF@eIMG!的有机胺类，其中R1~R3可为氢、烃基、羟烷基，且其中至少一个为羟烷基；其中该非离子界面活性剂的结构式为：@sIMGTIF!d10010.TIF@eIMG!其中：该非离子界面活性剂的结构式当中的R1为氢或甲基；EO为氧化乙烯单元；PO为氧化丙烯单元，m和n不可为同时为零、m+n小于25，R2为疏水基，该疏水基为选自于：(A)具有下式(b)的烷基联苯类：@sIMGCHAR!d10012.TIF@eIMG!，其中R1为氢原子或烷基；(B)具有下式(c)的环烷类：@sIMGCHAR!d10013.TIF@eIMG!，其中R1~R3为氢原子、烷基、芳基、芳烷基、环烷基；R3可在环的任一位置；(C)具有下式(d)的并环类：@sIMGCHAR!d10014.TIF@eIMG!，其中R1~R6为氢原子、烷基、芳基、芳烷基、环烷基；以及(D)具有下式(e)的并环烯基：@sIMGCHAR!d10015.TIF@eIMG!，其中R1~R6为氢原子、烷基、芳基、芳烷基、环烷基；其中该消泡剂为不含矽的非离子型界面活性剂。 |
