| 发明名称 |
COMPOUND MATERIAL, METHOD OF PRODUCING THE SAME AND APPARATUS FOR PRODUCING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2011117373(A1) |
申请公布日期 |
2011.05.19 |
| 申请号 |
US20090921348 |
申请日期 |
2009.03.02 |
| 申请人 |
JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY |
发明人 |
YAE SHINJI;HIRANO TATSUYA;MATSUDA HITOSHI |
| 分类号 |
B32B15/04;B05D3/10;C23F1/00;H01L21/306 |
主分类号 |
B32B15/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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