一种宽带减反增透纳米结构及其制备方法

摘要

本发明涉及为一种宽带减反增透纳米结构及其制备方法。属光学薄膜材料领域。本发明采用溶胶-凝胶技术，形成纳米薄膜-纳米球复合折射率梯度结构。此结构是在纳米薄膜上面制备一层纳米球阵列结构，或是将纳米球分散在前驱溶胶中，最终制备复合薄膜。所述的SiO2纳米薄膜的厚度控制在20-2500nm范围，SiO2纳米球的直径控制在15-500nm范围。所述的SiO2纳米薄膜折射率介于1.15-1.50之间。在本发明获得的宽带减反增透结构，在透明光电、热电转换和光学仪器等领域具有广泛的应用前景。

主权项

一种宽带减反增透纳米结构，其特征在于由SiO2纳米薄膜‑SiO2纳米球阵列组成的复合折射率梯度结构。