基于MEMS技术的可调谐光滤波器

摘要

一种基于MEMS技术的可调谐光滤波器，包括有沿光路设置的：输入准直器、反射镜、聚焦透镜、准直透镜、分光元件、反射镜和输出准直器，所述的反射镜为可转动的反射镜，所述的分光元件是衍射光栅，通过可转动的反射镜改变衍射光栅的入射角来实现波长选择。所述的可转动的反射镜是可转动的MEMS反射镜，或为具有与可转动的MEMS反射镜相同功能的反射镜。本发明有效地利用MEMS反射镜的角度调节特性来改变衍射光栅的入射角，从而实现波长可调谐功能，保证衍射光栅的小尺寸，易于实现并集成，适于批量生产，元件数目少且简单，节约成本，结构紧凑，体积小。

主权项

一种基于MEMS技术的可调谐光滤波器，包括有沿光路设置的：输入准直器(1)、反射镜(2)、聚焦透镜(3)、准直透镜(4)、分光元件、反射镜(6)和输出准直器(7)，其特征在于，所述的反射镜(2)为可转动的反射镜，所述的分光元件是衍射光栅(5)，通过可转动的反射镜(2)改变衍射光栅(5)的入射角来实现波长选择。