基板结构

摘要

本实用新型公开一种基板结构，其包括一基板以及一膜层，基板具有至少一图案标记、至少一图案区以及一环绕图案区的周边区，图案标记配置于周边区，膜层配置于基板上，且膜层具有至少一开口、至少一有效图案以及至少一环绕有效图案配置的虚置图案，膜层的开口暴露出基板的图案标记，膜层的有效图案位于基板的图案区且与图案区重叠，膜层的虚置图案位于基板的周边区且与周边区部分重叠。本实用新型的基板结构具较好的可靠度。

主权项

一种基板结构，其特征在于：包括：一基板，具有至少一图案标记、至少一图案区以及一环绕该图案区的周边区，其中该图案标记配置于该周边区；以及一膜层，配置于所述基板上，且该膜层具有至少一开口、至少一有效图案以及至少一环绕该有效图案配置的虚置图案，其中该膜层的所述开口暴露出所述基板的图案标记，且该膜层的有效图案位于所述基板的图案区且与该图案区重叠，而该膜层的虚置图案位于所述基板的周边区且与该周边区部分重叠。