发明名称 |
硅料清洗剂及硅料清洗的方法 |
摘要 |
本发明公开了清洗剂SEH-1、清洗剂SEH-2、清洗剂SEH-3的组方,所述的清洗剂SEH-1由以下组分按质量份组成:脂肪醇聚氧乙烯醚为5-25;烷基酚聚氧乙烯醚为3-15;烷基醇酰胺为2-8;乙二醇烷基醚为0.5-7;螯合剂为0.1-5;含氯酸为5-10;H2O2为0.5-5;去离子水为余量,总份数为100;所述的清洗剂SEH-2由以下组分按质量份组成:椰子油烷基酰胺磷酸酯为4-15;三乙醇胺油酸皂为3-15;三乙醇胺为1-5;氨基三乙酸为0.1-5;氢氧化钾为1-5;去离子水为余量,总份数为100;所述的清洗剂SEH-3由以下组分按质量份组成:醋酸为5-10;柠檬酸为0.5-10;山梨醇为0.1-5;去离子水为余量,总份数为100。本发明还公开了利用上述三种清洗剂对硅料的清洗方法。本发明的方法完全符合制作太阳能级单晶硅的清洁要求,不污染环境。 |
申请公布号 |
CN102010797A |
申请公布日期 |
2011.04.13 |
申请号 |
CN201010602413.9 |
申请日期 |
2010.12.23 |
申请人 |
西安隆基硅材料股份有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
发明人 |
张群社;赵可武;李淑丽;王彦利 |
分类号 |
C11D1/825(2006.01)I;C11D3/20(2006.01)I;C11D3/24(2006.01)I;C11D1/83(2006.01)I;C11D3/30(2006.01)I;C11D3/04(2006.01)I;C11D3/60(2006.01)I;C11D7/26(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I |
主分类号 |
C11D1/825(2006.01)I |
代理机构 |
西安弘理专利事务所 61214 |
代理人 |
罗笛 |
主权项 |
一种硅料清洗剂,其特征在于:由以下组分按质量份组成:脂肪醇聚氧乙烯醚为5‑25;烷基酚聚氧乙烯醚为3‑15;烷基醇酰胺为2‑8;乙二醇烷基醚为0.5‑7;螯合剂为0.1‑5;含氯酸为5‑10;H2O2为0.5‑5;余量为去离子水,总份数为100。 |
地址 |
710100 陕西省西安市长安区航天中路388号 |