发明名称 |
用于使用干涉式元件对光进行检测的方法及系统 |
摘要 |
本发明的某些实施例提供一种光传感器,其包含至少一个吸收至少一种波长的光的干涉式元件。所述干涉式元件包含一第一表面及一与所述第一表面基本上平行的第二表面。第二表面在一基本上垂直于第一表面的方向上与第一表面间隔一间距。所吸收的光的波长取决于所述间距。所述干涉式元件进一步包含一温度传感器。所述温度传感器可响应于所述干涉式元件的至少一部分因所述干涉式元件吸收光而引起的温度变化。 |
申请公布号 |
CN1755475B |
申请公布日期 |
2011.04.13 |
申请号 |
CN200510103440.0 |
申请日期 |
2005.09.15 |
申请人 |
高通MEMS科技公司 |
发明人 |
马尼什·科塔里 |
分类号 |
G02F1/21(2006.01)I;G02B26/00(2006.01)I;G09G3/34(2006.01)I |
主分类号 |
G02F1/21(2006.01)I |
代理机构 |
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 |
代理人 |
王允方 |
主权项 |
一种具有至少一个干涉式调制器的光传感器,所述干涉式调制器包括:一第一表面,其对至少一种波长的光呈部分透射性和部分反射性;一第二表面,其基本上与所述第一表面平行且与所述第一表面间隔一第一距离,以反射所述至少一种波长的光的至少一部分;及一温度传感器,其热耦接至所述第一或第二表面并可响应于所述第一或第二表面的至少一部分的温度变化,所述温度变化至少部分地是因吸收所述至少一种波长的光而引起,其中所述温度传感器位于所述第一和第二表面之间。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |