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发明名称
METHOD OF MAKING STRAINED SEMICONDUCTOR CMOS TRANSISTORS HAVING LATTICE-MISMATCHED REGIONS
摘要
申请公布号
EP1654770(B1)
申请公布日期
2011.03.30
申请号
EP20040780054
申请日期
2004.08.04
申请人
US
发明人
GB;US;US;GB;US
分类号
H01L21/84;H01L21/336;H01L21/20;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/12
主分类号
H01L21/84
代理机构
代理人
主权项
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