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发明名称
摘要
申请公布号 JP4635416(B2) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 JP20030278453 申请日期 2003.07.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/331;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/737 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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