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摘要
申请公布号
KR101012137(B1)
申请公布日期
2011.02.07
申请号
KR20080069123
申请日期
2008.07.16
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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