发明名称 |
一种无铅压电陶瓷薄膜的制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种无铅压电陶瓷薄膜的低温制备方法,将溶胶-凝胶法和水热法结合在一起,利用溶胶-凝胶法制备湿膜,然后通过水热处理,使其晶粒生长,得到致密性较高的薄膜。本发明总体上经过无铅压电陶瓷溶胶的制备、成膜、预热处理和水热低温晶化四个阶段。本发明针对目前环境友好型铌酸钾钠压电薄膜制备方法中的不足,尤其是溶胶-凝胶法制备薄膜需要后期的晶化热处理带来宏观缺陷的问题,结合溶胶-凝胶法和水热法制备薄膜的优点,采用水热-溶胶凝胶法制备铌酸钾钠无铅压电薄膜,减少薄膜的宏观缺陷和裂纹,以便减少薄膜电极间的漏电流值,提高薄膜的压电特性;对无铅压电陶瓷薄膜在纳米制造、MEMS、超精密加工等领域有重要意义。 |
申请公布号 |
CN101962293A |
申请公布日期 |
2011.02.02 |
申请号 |
CN201010290334.9 |
申请日期 |
2010.09.21 |
申请人 |
南京航空航天大学 |
发明人 |
朱孔军;裘进浩;季宏丽 |
分类号 |
C04B35/495(2006.01)I;C04B35/624(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/495(2006.01)I |
代理机构 |
南京经纬专利商标代理有限公司 32200 |
代理人 |
唐小红 |
主权项 |
一种无铅压电陶瓷薄膜的制备方法,其特征在于,包括下列步骤:步骤一:称取Nb2O5,沸水浴条件下溶解于氢氟酸中,得到Nb2F5溶液;步骤二:向步骤一得到的Nb2F5溶液中按n(Nb2O5)∶n(草酸铵)=1∶6加入草酸铵溶液并充分混合;步骤四:向步骤二得到的混合液中逐滴加入氨水,产生白色Nb(OH)5沉淀;步骤五:将步骤四所得的Nb(OH)5沉淀在60~80℃陈化,过滤并洗涤后溶解于柠檬酸溶液中,得到Nb‑柠檬酸溶液;步骤六:称取步骤五得到的Nb‑柠檬酸溶液,按照摩尔比n(K+)∶n(Na+)∶n(Nb5+)=1∶1∶2,加入K2CO3、Na2CO3粉末,待K2CO3、Na2CO3全部溶解后得到混合液;再向所得的混合液中加入氨水,调节其pH值接近7.5后再加入乙二醇,并不断搅拌,得到铌酸钾钠前驱体溶胶;步骤七:将步骤六所得的溶胶涂覆在硅基片上,并进行烘干;步骤八:将步骤七经涂覆溶胶的硅基片置于150~300℃温度下水热处理1~36小时。 |
地址 |
210016 江苏省南京市御道街29号 |