| 发明名称 | 制造衍射光学元件的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种制造衍射光学元件的方法，其可以抑制从绝缘基板内部产生热以稳定刻蚀速率。一种制造衍射光学元件的方法，所述衍射光学元件由绝缘基板组成，绝缘基板的表面具有凹凸结构。所述方法包括：测量绝缘基板的电阻率并选择电阻率等于或者大于特定值的绝缘基板；以及对所述选择步骤所选的绝缘基板的表面进行干法刻蚀来在绝缘基板表面上形成凹凸结构。 | ||
| 申请公布号 | CN101960336A | 申请公布日期 | 2011.01.26 |
| 申请号 | CN200980107493.6 | 申请日期 | 2009.11.13 |
| 申请人 | 住友电气工业株式会社;住友电工硬质合金株式会社 | 发明人 | 栗巢贤一;今村秀明 |
| 分类号 | G02B5/18(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 陈源;张天舒 |
| 主权项 | 一种制造衍射光学元件的方法，所述衍射光学元件由绝缘基板组成，绝缘基板的表面具有凹凸结构，所述方法包括：选择步骤，通过测量绝缘基板的电阻率来选择电阻率等于或者大于特定值的绝缘基板；以及刻蚀步骤，通过对所述选择步骤所选的绝缘基板的表面进行干法刻蚀来形成凹凸结构。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||