Vorrichtung und Verfahren zum Stapeln bzw. Transport einer Vielzahl von flachen Substraten

摘要

Eine Vorrichtung zum Stapeln einer Vielzahl von Siliziumwafern weist einen aufrechtstehenden Maschinencarrier auf zur Aufnahme einer Vielzahl der Siliziumwafer, wobei die Siliziumwafer in dem Maschinencarrier in horizontaler Position vorgesehen sind. Die Vorrichtung weist drei gleiche Beladekassetten auf zum Einbringen einiger Siliziumwafer darin. Der Maschinencarrier weist auch Aufnahmevorrichtungen für die Beladekassetten auf, wobei eine Beladekassette eine untere Tragefläche aufweist zum stapelartigen Darauflegen der Siliziumwafer sowie eine im Wesentlichen rechtwinklig dazu verlaufende Rückseite. Die Beladekassette ist derart ausgebildet, dass die der Rückseite gegenüberliegende Seite sowie die Oberseite frei zugänglich sind.