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发明名称 Single- electron tunneling invertor circuit and fabrication method thereof
摘要
申请公布号 KR100996778(B1) 申请公布日期 2010.11.25
申请号 KR20060130067 申请日期 2006.12.19
申请人 发明人
分类号 H01L29/775;H01L21/027 主分类号 H01L29/775
代理机构 代理人
主权项
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