发明名称 METHOD FOR GROWING GROUP III NITRIDE CRYSTAL
摘要
申请公布号 KR20100113529(A) 申请公布日期 2010.10.21
申请号 KR20107016127 申请日期 2009.01.08
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 SATO FUMITAKA;NAKAHATA SEIJI
分类号 C30B29/38;C23C16/34;C30B25/18;H01L21/205 主分类号 C30B29/38
代理机构 代理人
主权项
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